Исследование микроразмерных металлических структур, полученных методом электрического взрыва проводников
Аннотация
Дата поступления статьи: 10.06.2019В статье представлены результаты экспериментальных исследований параметров микроразмерных металлических частиц и напыляемых пленок, получаемых методом электрического взрыва металлических проводников (ЭВП) и электровзрывного напыления (ЭВН), соответственно. В качестве взрывающихся проводников использовались медные (Cu) и алюминиевые (Al) металлические проволочки. Геометрические параметры и физико-химический анализ, получаемых микрочастиц и тонких пленок, осуществлялся посредством универсальной двулучевой электронной системы Versa 3D. Из анализа полученных образцов напыляемых тонких пленок и мелкодисперсных частиц следует, что при протекании плотности разрядного тока J≈10^10 А/м^2 миллисекундного диапазона толщина пленок и размеры частиц могут достигать величин меньше микронного масштаба.
Ключевые слова: электрический взрыв проводников, тонкие металлические пленки, мелкодисперсные частицы
01.04.15 - Физика и технология наноструктур, атомная и молекулярная физика
05.11.16 - Информационно-измерительные и управляющие системы
`